Vysoce přesný konfokální senzor

Výhody:

• Vysoce přesné měření povrchů nezávislé na odrazivosti
• Pomocí senzoru Nano Focus Probe lze zachytit povrch obrobku jako 3D mračno bodů a vyhodnotit velikost, tvar, polohu a drsnost mikrostruktur. Potlačení rozptýleného světla umožňuje spolehlivé 3D měření topografie i reflexních povrchů s chybami měření v submikrometrovém rozsahu. Konfokální optický senzor poskytuje dobré výsledky i na strmých bocích s velkými úhly sklonu.

Další výhody:

• Různé objektivy umožňují přizpůsobit senzor danému úkolu
• Senzor lze použít v celém měřicím objemu souřadnicového měřicího stroje a výsledky měření lze propojit ve stejném souřadnicovém systému
• Celkovou plochu lze vypočítat z několika sousedících dílčích mračen bodů téměř bez ztráty přesnosti

Jak to funguje
Pohybem hlavy sondy s a) osvětlením, b) kamerou, c) dírkovou komorou a d) zobrazovací optikou vzhledem k obrobku e) se mění intenzita světelných bodů f), g) rozostřením. Překrývání rozostřených světelných bodů f) se zabrání velkými vzdálenostmi g).