S chybou délkového měření MPE Euni až k (0,25 + L/900) µm a (0,15 + L/2000) µm jsou VideoCheck® HA a VideoCheck® UA nejpřesnějšími multisenzorovými souřadnicovými měřicími systémy na světě. Průmyslová asociace SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) vydává mezinárodní bezpečnostní normy pro použití těchto strojů v nanoelektronické a mikroelektronické výrobě.
VideoCheck® HA umožňuje měření přesných obrobků s tolerancemi v rozsahu mikrometrů a 3D mikrogeometrií, a to i na velkých obrobcích. Stroj má jedinečnou koncepci s až třemi nezávislými senzorovými osami pro rychlé multisenzorové systémy bez omezení. V patentovaném režimu rastrového skenování HD se jednotlivé snímky zachycené během pohybu překrývají a vytvářejí celkový obraz s vysokým rozlišením. Automaticky lze měřit například velké panely s tisíci malými otvory. Celkový obraz má rozlišení až 20 000 megapixelů (přibližně 140 000 × 140 000 pixelů s velikostí pixelu 5 µm).

Směrnice organizace SEMI nabývají celosvětově na významu a musí být hodnoceny nezávislou třetí stranou. V Německu může tuto certifikaci provádět TÜV (Technischer Überwachungsverein). Za tímto účelem byl přístroj VideoCheck® HA přizpůsoben mezinárodním směrnicím pro ochranu životního prostředí, zdraví a bezpečnosti při práci v zařízeních na výrobu polovodičů a vybaven potřebným příslušenstvím. Směrnice SEMI obsahují podrobné specifikace, zejména pro elektrické provedení a jeho odolnost vůči rušení, ale také pro mechanické provedení, ochranu proti záření, hluku a ergonomii. Speciální protipožární kryt například snižuje požární zatížení. Ukotvení v podlaze zajišťuje ochranu proti zemětřesení a stabilizuje stroj, který je namontován na tlumičích vibrací. Světelné závory zajišťují zastavení zařízení nebo provoz os zařízení při bezpečných rychlostech při vjezdu do bezpečnostního koridoru.