Nové strojní řešení od společnosti Werth Messtechnik kombinuje submikrofokusovou trubici a mikrofokusovou trubici (s vysokým napětím až 300 kV při výkonu 80 W) a vytváří tak systém měření se dvěma trubicemi. S velikostí ohniska několik mikrometrů lze měřit i velké nebo husté obrobky s vysokým rozlišením a rychlostí. Kromě toho je stroj vybaven chromaticky ostřicím bodovým snímačem pro optická měření.

Nová submikrofokusová trubice (s napětím 160 kV a maximálním výkonem 30 W) dosahuje velikosti ohniska menší než jeden mikrometr přeostřením elektronového svazku. Dosažitelné rozlišení objemové grafiky je stejného řádu. To umožňuje měřit strukturu vláken filtračních materiálů. Lze také měřit hloubku průniku částic a zobrazit ji v barevným kódováním s pohledem zevnitř obrobku na jeho povrch.