Nové strojní řešení od společnosti Werth Messtechnik kombinuje submikrofokusovou trubici a mikrofokusovou trubici (s vysokým napětím až 300 kV při výkonu 80 W) a vytváří tak systém měření se dvěma trubicemi. S velikostí ohniska několik mikrometrů lze měřit i velké nebo husté obrobky s vysokým rozlišením a rychlostí. Kromě toho je stroj vybaven chromaticky ostřicím bodovým snímačem pro optická měření.